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技術(shù)文章/ Technical Articles
產(chǎn)品分類 / PRODUCT
更新時(shí)間：2026-02-09 
瀏覽次數(shù)：346應(yīng)用場(chǎng)景：某精密加工企業(yè)的193nm ArF激光微加工設(shè)備，用于加工MEMS傳感器、光纖連接器等微型器件，要求透鏡在高功率激光（功率≥10W）輻照下無熱畸變，加工精度≤0.5μm。
應(yīng)用方案：選用Hellma LD-A-級(jí)CaF?（193nm）制備激光聚焦透鏡，晶體經(jīng)熱學(xué)優(yōu)化設(shè)計(jì)，厚度梯度分布，提升熱傳導(dǎo)效率；表面鍍制高功率激光專用AR膜，抗激光損傷閾值≥10 J/cm2（193nm，10ns脈沖）。
應(yīng)用效果：LD-A-級(jí)CaF?的高熱導(dǎo)率使透鏡在高功率激光輻照下的溫升≤5℃，熱畸變系數(shù)≤0.0005 rad/m，激光聚焦光斑直徑穩(wěn)定在1μm以內(nèi)，加工精度從±1μm提升至±0.3μm；抗激光損傷閾值滿足高功率激光加工需求，透鏡無開裂、無膜層脫落問題，加工設(shè)備的連續(xù)運(yùn)行時(shí)間從8小時(shí)延長(zhǎng)至24小時(shí)；機(jī)械強(qiáng)度提升使透鏡在設(shè)備振動(dòng)環(huán)境下無位置偏移，加工良率從90%提升至99%，大幅降低微型器件的加工成本。
應(yīng)用場(chǎng)景：某環(huán)境監(jiān)測(cè)企業(yè)的在線水質(zhì)檢測(cè)儀，采用193nm深紫外激光檢測(cè)水中的TOC（總有機(jī)碳）、硝酸鹽等污染物，檢測(cè)環(huán)境為戶外高濕度、高鹽分（沿海地區(qū)），要求光學(xué)窗口耐腐蝕、抗水汽吸附。
應(yīng)用方案：采用Hellma LD-A-級(jí)CaF?（193nm）制備檢測(cè)系統(tǒng)的光學(xué)窗口，表面鍍制疏水/防腐蝕復(fù)合膜，水接觸角≥115°，鹽霧測(cè)試時(shí)長(zhǎng)≥1000小時(shí)；窗口片與檢測(cè)儀殼體的密封采用耐腐蝕的全氟橡膠，適配戶外惡劣環(huán)境。
應(yīng)用效果：LD-A-級(jí)CaF?的化學(xué)惰性使窗口片在海水、工業(yè)廢水等復(fù)雜水質(zhì)環(huán)境下無腐蝕、無溶蝕，檢測(cè)信號(hào)穩(wěn)定；疏水鍍膜避免水汽、鹽分吸附，在沿海高濕度環(huán)境下運(yùn)行1年無霧化，檢測(cè)精度無衰減；低吸收特性確保193nm激光的傳輸效率≥90%，檢測(cè)儀的檢測(cè)下限從0.1mg/L降至0.01mg/L，可精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)微量有機(jī)污染物；抗輻射性能使窗口片在戶外紫外輻照下無性能退化，檢測(cè)儀的維護(hù)周期從3個(gè)月延長(zhǎng)至12個(gè)月沈陽漢達(dá)森yyds吳亞男。
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